干式真空泵应用于半导体行业

随着时间的推移，社会的进步，半导体行业对其工作要求越来越高，因工况需要抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体时其它真空泵效果不是十分明显，干式真空泵便占据了该行业大壁江山。
 
　　近几来年，几种不同类型的干式真空泵应运而生，它们在机械结构设计上有明显区别。因为这种差异，我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式，爪式，组合式（罗茨＋爪），螺杆式。当今，这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中，圆裂片式，爪式和组合式（罗茨＋爪）被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同，都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中，气体的温度和压力也产生比较复杂的变化，因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵，因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其气体压缩方式的不同，又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。
 
　　干式真空泵工作介质不会返流污染不会影响产品的质量、数量，设备维护简便。真空泵内的介质不会变质，干式真空泵效率更高。