油扩散真空泵的结构和原理介绍

 油扩散真空泵是用来获得高真空或超高真空的主要设备。它广泛用于电子工业、化学工业、真空冶金、真空热处理、真空镀膜设备、原子能工业以及空间模拟设备等高科技领域中。
 
    油扩散真空泵的工作压力范围为10-2Pa至10-5Pa，极限压力一般为7x10-6Pa。若通过高温烘烤除气后更可获得10-8Pa的真空度。泵的抽速大，抽速范围宽（几升每秒至十几万升每秒）。其特点是结构简单，没有机械运动部件，使用寿命长，可靠性高，操作与维护方便等。
 
    高真空油扩散真空泵的主要部件有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气流导管和加热器等。油扩散真空泵油锅中的泵油在真空中加热到沸腾温度（约200℃），产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于油扩散真空泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断地扩散到蒸气流中。油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动。气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，最后由前级真空泵抽走。而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。